王耀光代表:
您提出的关于“支持洛阳发展第三代半导体产业”的建议收悉。现答复如下:
一、河南省半导体材料产业发展现状
半导体关键材料是我省的优势产业,在硅片、湿化学品、电子特气、超纯铜等方面有较好技术积淀并不断突破,主要分布在郑州、洛阳、焦作、平顶山等地。其中,郑州合晶8英寸硅片产量国内占比达到35%,多氟多的电子级氢氟酸、中硅高科的区熔级多晶硅、平顶山国玺超纯的6N5—7N超纯铜等打破国外垄断。此外,航空港区、洛阳、平顶山等地正在积极布局碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体材料项目。
二、关于洛阳半导体材料产业发展情况
洛阳是我省半导体材料产业发展重要集聚区,重点企业有麦斯克、中硅高科、昊华气体、丰联科光电等,主要产品有硅抛光片、电子级多晶硅、硅基气体、含氟气体等,中硅高科电子级多晶硅产品已完成关键制备技术和试验并通过下游验证,区熔级多晶硅产品成功替代进口;洛单集团作为国内具有多晶硅、单晶硅、硅抛光片等综合生产加工能力的国有大型硅材料生产企业,旗下公司麦斯克电子成功研制出电路级8英寸单晶硅抛光片;昊华气体的电子级三氟化氮、四氟化碳等含氟电子特气在国内市场占有率达到30%;丰联科光电是国内首家研发制造高世代TFT-LCD/AMOLED用钼靶材的生产企业,宽幅钼靶逐步替代进口,长条钼靶占据国内市场50%以上的份额。
三、关于第三代半导体产业发展布局规划
第三代半导体材料以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)等为代表,因具有较宽的禁带宽度,更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率的电子器件。随着智能手机、平板电脑、汽车电子、智能家居、光伏等产业快速发展,第三代半导体的应用前景愈发广阔。
我省高度重视第三代半导体材料产业发展,2022年,省政府办公厅印发河南省推动集成电路产业发展有关文件中明确提出,支持有基础的地市引进布局氮化镓、碳化硅、磷化铟等宽禁带半导体材料项目,推动洛阳市依托材料产业优势,做强做优关键材料产业,建设集成电路关键材料产业园。
四、下步工作
结合您的建议,下一步将开展以下工作。
(一)加强规划引领。根据省委、省政府加快培育智能传感器和半导体重点产业链要求,省工业和信息化厅积极配合出台全省产业链培育行动方案(2023-2025年),其中明确提出将洛阳打造成为全省半导体产业核心区,支持洛阳等地引进布局宽禁带半导体材料,并提出优化财政激励政策。目前,行动方案已征求意见完毕,拟于近期按程序印发。下一步,在国家政策允许前提下,省工业和信息化厅将积极支持洛阳市引进建设有关项目。
(二)推动产业协同。近年来,我省积极招引新能源汽车等重大项目落地,对第三代半导体材料及功率器件需求较大。下一步,省工业和信息化厅将按照省委、省政府要求,积极组织产销对接活动,推动产业链上下游协同发展。
2023年7月20日